通讯地址：

清华大学罗姆电子工程馆9-109

北京市海淀区清华园，100084

电子邮箱：haox@mail.tsinghua.edu.cn

教育经历：

2020~2024 法国里尔大学 微电子/纳电子学 博士

2015~2018 西安交通大学 电子科学与技术系 硕士

2010~2014 哈尔滨理工大学 光信息科学与技术系 学士

工作经历：

2024~至今 清华大学 电子工程系 博士后

2020~2024 法国国家科学研究中心CNRS-IEMN微纳系统实验室 博士

2018~2020 清华大学伯克利深圳学院 低维材料与器件实验室 研究助理

科研工作：

博士后研究集中在III-V族半导体材料器件的性质分析。

博士研究主要是氮化硅薄膜纳米机电谐振器件性质分析，应用于光力测温学研究。利用干法选择性刻蚀工艺将氮化硅薄膜从硅衬底释放，结合CMOS兼容集成工艺，制备对侧铝空气桥顶栅，实现电容耦合方案的氮化硅薄膜纳米机电谐振（NEMS）器件。通过微波RF反射式测量表征，氮化硅薄膜NEMS具有兆赫兹共振频率、高品质因子Q>10000（室温），可用于信号放大或去放大。另外，该高品质因子氮化硅薄膜NEMS器件可以探测白噪声，有望应用在mK温度测量。

代表性成果：

[1] Hao Xu, Srisaran Venkatachalam, Toky-Harrison Rabenimanana, Christophe Boyaval, Sophie Eliet, Flavie Braud, Eddy Collin, Didier Theron, Xin Zhou. “Imaging nanomechanical vibrations and manipulating parametric mode coupling via scanning microwave microscopy” Nano Letters 24 (28), 8550–8557 (2024)

[2] Hao Xu, Srisaran Venkatachalam, Christophe Boyaval, Pascal Tilmant, Francois Vaurette, Yves Deblock, Didier Theron, Xin Zhou. “Fabrication of silicon nitride membrane nanoelectromechanical resonator” Microelectronic Engineering 280, 112064 (2023)

[3] Hao Xu, Baofu Ding, Youan Xu, Ziyang Huang, Dahai Wei, Shaohua Chen, Tianshu Lan, Yikun Pan, Hui-Ming Cheng and Bilu Liu. “Magnetically tunable and stable deep-ultraviolet birefringent optics using two-dimensional hexagonal boron nitride” Nature Nanotechnology 17, 1091–1096 (2022)

[4] Alok Pokharel, Hao Xu, Srisaran Venkatachalam, Eddy Collin, Xin Zhou. “Capacitively coupled distinct mechanical resonators for room temperature phonon-cavity electromechanics” Nano Letters 22 (18), 7351-7357 (2022)

[5] Xin Zhou, Srisaran Venkatachalam, Ronghua Zhou, Hao Xu, Alok Pokharel, Andrew Fefferman, Mohammed Zaknoune, Eddy Collin. “High-Q silicon nitride drum resonators strongly coupled to gates” Nano Letters 21(13), 5738-5744 (2021)