返回硅波导集成超导纳米线单光子探测器完成器件制备和性能测试，即将在Chinese Physics Letters上发表（论文共同第一作者：博士生俞凌杰）
该工作提出并实现了一种硅浅脊波导集成的超导纳米线单光子探测器，突破了硅光子器件和超导纳米线器件混合集成的难点，发展出完整的制备工艺，成功制备出器件样片。测试表明器件系统整体单光子探测效率为3.1%，片上探测效率达到18.5%。暗计数低达2.1cps，时间抖动为93.1 ps。该工作由微纳光电子学实验室与上海微系统所尤立星研究员团队合作完成，作为国内第一个波导集成超导纳米线单光子探测器的实验报道被Chinese Physics Letters接收，将于8月发表。博士生俞凌杰是论文的共同第一作者，张巍副教授是论文的共同通讯作者。
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